优化半导体设备空间利用率解决方案

课题

优化半导体设备空间利用率解决方案

工艺升级，控制柜空间不足，布置困难、费时费力？

应用范围： 半导体制程（如刻蚀、镀膜、键合、检测等）、面板、电子零部件等相关设备

解决方案： AZ系列多轴驱动器·薄型
●省空间
●节省布线
●控制统一

痛点： ①因工艺流程升级、增加等，在相同设备空间中新增工位轴数，但控制柜空间难以容纳新增的驱动器与布线设置。
②狭小的空间新增轴数后，驱动器设置、布线难度增大，耗时。

解決方案

AZ系列多轴驱动器·薄型

节省空间的多轴驱动器·薄型

厂内空间利用率要求日益加剧，开发多层、多腔室集群的半导体制程设备（如刻蚀设备）设计逐步成为升级的趋势。此外，设备的安装空间有限，为了提高下一代半导体制造设备的生产率，必须不断缩减整个设备的占地面积。

■小型化·节省空间

1台驱动器最多可同时控制4轴电动机，满足装置整体的小型化需求。与现有的单轴驱动器或多轴驱动器相比，可大幅节省空间。

简化配线，节省空间·提升效率

AZ系列多轴驱动器·薄型拥有对应EtherCAT、MECHATROLINK-Ⅲ、SSCNETⅢ/H的产品阵容。通过一个驱动器控制多个轴，减少控制柜中的配线布置，减少繁杂的布线工序，提升研发效率。

此外，AZ系列步进伺服混合控制系统步进电动机搭载机械绝对式ABZO编码器，机构上可免传感器，同时可节省控制柜上I/O模块、端子台等元件设置，进一步提升空间利用率。

以统一的控制完成各种运动

AZ系列拥有型号齐全的标准型、带电磁制动、减速机型等产品。还备有电动机与电动传动装置组合的机构产品，一体化的设计可节省机构设计及空间。
共通的电动机、电缆线，使得配线、控制、维护部件均统一，可缩短装置装配时间。
多轴工位使用安装尺寸42mm以下的电动机（DC电源输入）时，可选用薄型。