真空设备
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真空设备如何实现小型化？ |
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设备
真空室中工件搬送装置
用途
半导体部件、液晶屏幕等加工
设备概况
使用伺服电动机，通过皮带、滑轮和传动装置来驱动滚珠丝杆
当前设备问题
由于在真空室内无法放置电动机，需要额外加装传动装置此类部件，导致设备体量较大。
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αSTEP AR系列 真空型步进电动机 | 
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设置于真空环境，实现设备小型化
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真空型αSTEP AR系列是可以在10-5Pa的真空环境中使用的步进电动机组合产品。由于电动机可以设置在真空室中，传动装置、皮带、滑轮等部件都可以省去。通过节省空间实现了设备的小型化。
  真空型电动机的特征与构造
●为抑制气体排放，电动机采用铝、不锈钢，表面不做涂装，且轴承采用了真空用润滑油。
●排放的气体和与通常洁净环境下的气体成分相同，因此使用时不必担心会对真空环境造成污染。 ●为了能承受真空热处理的温度，采用耐高温线圈。 抑制气体释放污染真空室的设计
为了抑制气体的产生，电动机表面不做涂装，轴承部分则使用了真空用润滑油。产生的气体方面，与通常洁净环境下的气体成分相同，因此使用时无需担心污染真空环境。
 真空环境中也可反馈电动机状态
由于搭载了真空对应旋转变压传感器，电动机即使在真空环境中，也可以做到对过负载、过热保护等状态的监控。
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