步进电动机EtherCAT
探针功能（Touch probe ）的检测应用
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晶圆传送盒设备：晶圆放置状态的辅助判断 |
简化控制、提高效率
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晶圆传送盒设备：晶圆放置状态的辅助判断
设备：晶圆传送盒机构：螺杆机构 动作概况：通过螺杆机构带动晶圆上、下移动动作，期间利用盒内的传感器进行晶圆放置状态的辅助判断，便于下一工位的取料操作。 痛点：以往控制为上位连接传感器，上位收到信号后，再向驱动器查询当前位置， 根据查询的位置进行判断结论。 上位读取的位置由于信号传送、程序响应等因素，相对实际情况存在滞后且耗时， 影响提高效率。 |
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利用探针功能将位置锁存读取， 上位更精准、高效 |
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探针功能（Touch probe ）
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探针功能（Touch probe ）：
Touch probe 是指将外部锁存输入信号（EXT1 输入、EXT2 输入）或输出信号（ZSG 输出、TIM 输出）作为触发，对输入触发时的位置进行锁存的功能。 |
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外部传感器信号直接输入驱动器，驱动器接收到传感器信号上升沿与下降沿的输出后，利用AZ系列EtherCAT通讯中的Touch probe功能对上升沿、下降沿触发时的位置进行锁存。 上位根据通讯周期的处理周期，直接周期性读取锁存位置进行应用。
时序示意图：
上位通过EtherCAT通讯直接读取EXT1信号上升沿与下降沿锁存位置信息的差值乘以电动机步距角，即可得出测量晶圆的厚度情况进行相关生产的辅助判断应用。
例如：
A的厚度=（P2-P1）*电动机步距角
B的厚度=（P4-P3）*电动机步距角
C的厚度=（P6-P5）*电动机步距角
例如：
A的厚度=（P2-P1）*电动机步距角
B的厚度=（P4-P3）*电动机步距角
C的厚度=（P6-P5）*电动机步距角
简化上位的程序、实现更高效的判断，优化控制程序
AZ系列多种支持EtherCAT通讯的驱动器选择
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AZ系列备有多样化的驱动器类型，其中包括有多轴、双轴、单轴与Mini驱动器，以便适应多种应用场合的选用。
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相关产品
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αSTEP AZ系列 搭载新研发的ABZO编码器，无需电池就能实现绝对方式的定位。 驱动方式有脉冲序列型和可实现I/O控制的内藏定位型供选择。产品种类丰富。 |