特征 | 步进电动机 真空型

真空型电动机的特征与结构

• 为了抑制气体释放，电动机外壳使用铝、不锈钢材质，表面不涂装。 此外，轴承使用真空用润滑油。
• 释放的气体与通常洁净环境下的成分相同，因此无须担心污染真空环境。
• 使用可承受热处理温度的耐热用线圈。

真空型电动机的优点

使设备小型化，扩大设计的自由度

在大气中设置电动机时，需使用传动机构等，设备体积会变大。 真空型电动机可将设置于真空环境内，因此可让设备小型化。 此外，αSTEP AR 系列不需要位置确认用传感器，有助于降低成本。

使用αSTEP AR 系列，无需编码器即可进行位置监控

αSTEP AR 系列除了通过闭环控制监视电动机信息外，还搭载各种Alarm输出功能。 不需要真空对应型的昂贵编码器。

搭载转子位置检测传感器，可检测电动机信息并控制电动机。

在真空中实现各种运动

常用于各式各样的用途，如半导体制造设备及电子显微镜的测量机器等。

真空型电动机可对应真空环境下的多轴平台，解决难以设计传动机构的问题。 可在真空中组合复数轴，实现更复杂的动作。

有助于维持真空环境的质量

抑制气体释放污染真空室的设计

为了抑制气体的产生，电动机表面不做涂装，轴承部分则使用了真空用润滑油。产生的气体方面，与通常洁净环境下的气体成分相同，因此使用时无需担心污染真空环境。

抑制温度上升维持真空压

通常，随着电动机电流值增加，真空压力会变高。 电动机温度上升主因是线圈或树脂材料的水分蒸发增加而导致。 若要让真空压维持较低状态，重点在于保持较低的电动机温度。

αSTEP AR 系列具有依据负载转矩大小调整电动机电流的功能（CC 模式）。 使用 CC 模式可抑制电动机温度，并使维持在低真空压。

下图为连续运行及运转周期比率（断续运转）时的转速—温度特性。

• 即使是温度容易升高的连续运行，若运行速度维持在 900r/min 以下，外表温度不会超过 100°C。
• 500r/min 周期运转时的外壳温度与各模式相比，CC 模式时为 46°C，通常模式时为 80°C。 CC 模式下温度降低 34°C。

产品阵容

电源输入	系列名称	基本步距角 [°]	真空度 [Pa]	安装尺寸 [mm]				质量 [kg]
				28	42	60	85
AC		0.36	10-5	-	●	●	●	0.47～1.9
DC				●	●	●	●	0.2～3
DC		0.72	10-4	-	●	●	-	0.21～1.3
			10-5	●	-	-	-	0.11～0.2

详情请咨询营业网点、或客户咨询中心。

技术资料

在 RENGA 技术报告书中，刊登了关于真空电动机的详细信息和资料。

• （2008年11月发行）
  记载了关于真空的基础内容。
• （2011年6月发行）
  记载了 αSTEP AR 系列专门针对真空的内容。