湿法工艺的半导体制造设备
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CUP升降工位的多轴同步简易设计应用 |
多轴同步、提高效率、省空间
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CUP装置升降工位：兼顾小型化、同步性的升降CUP装置
设备：湿法工艺的半导体制造设备工位：CUP装置升降工位 解决方案：步进电动机 & 丝杠带适配器 ●同步性 ●绝对式编码器 ●简易的高速原点返回 ●小型化&简易自锁 新品上市：丝杠带适配器
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步进电动机 & 丝杠带适配器 |
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多轴同步升降，步进电动机控制更优越
■开环控制的步进电动机·无需增益调整的多轴同步运行
电动机本体是被设计仅用控制器、驱动器和电动机构成开环控制方式就可以简单地进行“高精度定位运行”的同步电动机，具有高响应性和高指令跟随性的特点。
只需运动指令同步输入，多台步进电动机可进行几乎相同的运行，同步升降CUP装置。
查看同步性演示视频：
绝对坐标管理，应用控制更灵活
■机械式绝对编码器·实现绝对坐标位置管理绝对式系统位置管理，支持重新上电后的绝对坐标记忆，无需电池、传感器等配件，支持软极限设置、内藏定位程序运行等。
有助于提升生产效率、节省安装空间、降低成本。 |
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■原点轻松设置、高速原点返回十分高效简便
查看绝对式应用演示视频：
| 应用情景： 高精密微调：确认装置当前位置状态，支持高精度位置微调； 轻松复位：断电后各轴若因外力不同引起不同的变位量，支持多轴简易的同步绝对定位复位。 |
活用结构化产品，设计更小型·简洁紧凑
■活用丝杠带适配器自锁结构·节省额外的制动器设计
* 可搭载薄型、编码器、电磁制动等步进电动机和实现低振动、低噪音驱动的驱动器组合使用。
* 搭载AZ系列步进伺服混合控制系统步进电动机的组合使用方式，详情请另洽询。
αSTEP与滚珠螺杆一体化的紧小型机体，可实现装置设计小型化、省空间化。
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自锁力*最大100N（安装尺寸42mm 导程2mm），可用于保持负载。 可用于防止因自重而掉落、移动等负载保持用途。 *从外部移动螺母时，由于摩擦的关系，丝杠轴无法动作的现象称为自锁。
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* 搭载AZ系列步进伺服混合控制系统步进电动机的组合使用方式，详情请另洽询。
■采用小型电动缸·空间利用更出色
αSTEP与滚珠螺杆一体化的紧小型机体，可实现装置设计小型化、省空间化。
DRS2系列
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