半导体设备小型化-紧凑而高效的未来制造解决方案
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半导体设备小型化 紧凑而高效的未来制造解决方案 |
| 东方马达深耕半导体行业30年，见证并助力设备技术的每一次升级。随着制程精度逼近物理极限、封装工艺复杂度持续攀升，设备小型化已成为产业发展的关键命题：前后道设备协同更为紧密，搬运与定位精度成为决定良率的核心因素；同时，洁净室空间有限，对设备体积和布局提出极高要求…… 面对这一系列挑战，东方马达凭借精密运动控制技术，提供高集成、小型化的驱动解决方案，助力半导体设备突破空间瓶颈，为行业创新赋能。 |
点击查看相关解决方案:
| ▶①指甲盖大小的 步进电动机 |
▶②柠檬般大小的 驱动器 |
▶③比手指还短的 小型电动缸 |
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①指甲盖大小的步进电动机 |
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安装面如指甲盖大
➡ 13mm超小型安装尺寸
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实现业界超小的13mm安装尺寸。
有助于机械臂的末端执行器等装置的小型化·轻量化。
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厚度竟如指甲盖宽
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◇薄型、轻量
薄型化的电动机，在狭窄空间也可安装。  |
◇带谐波减速机
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减速机型一体化
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◇一体化
集减速机+步进电动机+编码器一体化的 高精密步进电动机，实现动力机构设计小型化。  |
◇节省空间
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解决方案应用
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②柠檬般大小的驱动器 |
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东方马达提供Mini&多轴·薄型驱动器方案，大大有效改善空间利用率。
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支持全球主要工业用网络，选择丰富且多样。让控制柜设计精益求精。
解决方案应用
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③比手指还短的小型电动缸 |
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顶升机构的设计十分普遍，搭载步进电动机的小型电动缸，在发挥模组化、小型化优势的同时，也为升降装置提供了驱动平滑、稳定性强、高精度的高可控性解决方案。
升降·顶升
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【位置管理】机械式绝对编码器（ABZO传感器）
【最小移动量】0.001mm 【反复定位精度】研磨滚珠丝杠：±0.003mm  |
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解决方案应用
点击查看相关解决方案:
| ▶①指甲盖大小的 步进电动机 |
▶②柠檬般大小的 驱动器 |
▶③比手指还短的 小型电动缸 |
