半导体湿制程相关设备
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活用形状连接，摆臂动作可以很顺滑 |
简易控制、提高效率 *图片仅供示意
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摆臂工位：如何让多段定位的控制更加平稳？
设备：半导体湿制程相关设备工位：摆臂工位 解决方案：步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列 ●形状连接功能 痛点：在对晶圆等进行涂胶、显影等作业时，常会遇到运行不够平稳。 而运动过程中，通过实时监控并重新修改数据的控制难题难以克服， 进而导致如涂胶等作业不匀，加剧了废品率。 |
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步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列 |
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AZ系列形状连接功能，让运动控制更丝滑
■形状连接运行
不停止电动机运行，继续执行“结合数据”中设定的运行数据。过程中如有设定为“无结合”的运行数据，则会执行存储数据运行至该运行数据，使电动机停止。
● 使用示例
在确定的位置改变速度时，运行数据的设定
查看设定演示视频：
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仅需一个IO，上位控制更轻松
■降低控制难度，提升效率使用αSTEP AZ系列步进电动机的内藏定位功能，使用“形状连接”只需发送一个I/O信号即可实现复杂动作。
无需频繁读取和写入，节省大量的程序控制量，减轻上位程序负担。
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多样化的监控可视化功能，调试·使用·维护更安心
■波形监视
直观对比规划轨迹与电动机实际动作，针对性的快速调试。
▶点此查看详细介绍
直观对比规划轨迹与电动机实际动作，针对性的快速调试。
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