自动光学检测设备
|
自动光学检测设备的扁平化设计应用 |
省空间、提高效率 |
自动光学检测设备：压缩设备高度，提升空间利用率
设备：自动光学检测设备(AOI）工位：晶圆旋转工位 解决方案：薄型·中空旋转式传动装置DG2系列 ●薄型·扁平化、节省高度 ●绝对式系统 ●简易循环坐标 痛点：提升设备空间利用率，设计多层、多腔室集群设备是半导体设备的开发趋势。故此，压缩每个腔体中的结构高度成为重中之重的新课题。 |
新品上市!
薄型·中空旋转式传动装置
 NEW！电动机水平方向（薄型）
|
● 薄型，扁平化 ● 大口径中空设计 ● 搭载机械式绝对编码器 ● 无齿隙高精度定位 |
|
薄型·中空旋转式传动装置DGⅡ系列 |
|
薄型·中空的旋转平台，创设结构设计新高度
■全新薄型设计·有效压缩高度设计|
备有多种组装类型的中空旋转式工作台， 全新推出在高度上可大幅压缩设备纵向空间的薄型中空旋转平台， 实现设备扁平化。 |
|
■大口径中空设计·巧妙利用省空间
可直接将负载安装在旋转平台上，不仅省去传动机构，方便安装，更能通过中空设计实现由下而上的配线・配管。
大口径中空孔（贯穿）用于布置复杂的配线、气动（吸盘）及液压配管等场合，节省配件设置空间。
可直接将负载安装在旋转平台上，不仅省去传动机构，方便安装，更能通过中空设计实现由下而上的配线・配管。
大口径中空孔（贯穿）用于布置复杂的配线、气动（吸盘）及液压配管等场合，节省配件设置空间。
绝对式系统·简易循环坐标，应用控制更灵活
■机械式绝对编码器·实现绝对坐标位置管理绝对式系统位置管理，支持重新上电后的绝对坐标记忆，无需电池、传感器等配件，支持软极限设置、内藏定位程序运行等。
|
|
■循环功能·旋转机构单圈循环坐标达成
循环功能是在电动机输出轴的转数超出设定的范围时，自动预置当前位置的位置信息的功能。
循环功能是在电动机输出轴的转数超出设定的范围时，自动预置当前位置的位置信息的功能。
例：电动机向同一方向每旋转
1rev，循环功能有效时。 |
|
应用例：
多圈旋转时的晶圆旋转工位，电动机输出轴每旋转1rev，循环坐标时，坐标将自动清零。
多圈旋转时的晶圆旋转工位，电动机输出轴每旋转1rev，循环坐标时，坐标将自动清零。
|
|
结构·电控强大阵容，设备更小型·简洁紧凑
■高刚性XY轴移栽对位·电动滑台EZS系列
搭载高效节能的αSTEP AZ系列电动机。 采用简易防尘构造，可阻止异物进入，抑制发尘，更备有无尘室对应品。
▶点此查看详细介绍
搭载高效节能的αSTEP AZ系列电动机。 采用简易防尘构造，可阻止异物进入，抑制发尘，更备有无尘室对应品。
▶点此查看详细介绍
■优化电控柜空间·mini、薄型多轴驱动器
备有支持全球主要工业用的网络产品，拥有薄型的多轴驱动器，亦有十分小型轻量的mini驱动器。
▶点此查看AZ系列mini驱动器详细介绍 / ▶点此查看AZ系列多轴驱动器详细介绍
备有支持全球主要工业用的网络产品，拥有薄型的多轴驱动器，亦有十分小型轻量的mini驱动器。
▶点此查看AZ系列mini驱动器详细介绍 / ▶点此查看AZ系列多轴驱动器详细介绍
相关产品
 |
▶中空选装式传动装置DGⅡ系列
|
