晶圆片检测设备
|
如何缩短半导体晶圆片的检测时间？ |
|
过去的问题点
对晶圆片进行多角度检测，皮带驱动的转盘需要频繁稳定启停。而使用伺服电动机来驱动皮带时，停止时会出现频繁振动的情况， 影响检测效率。且圆盘惯量较大，难以进行增益调整。 如何解决因为频繁启停带来的振动问题呢？ |
|
混合控制系统αSTEP AZ系列 | 
|
无微振，保持停止位置。
|
伺服电动机运行时通过对比控制器发出的脉冲信号和驱动器发出的反馈信号，将二者误差控制为零，实现对电动机的控制。因而在皮带等低刚性机构中，由于需要整定，振动会比较明显。而AZ系列定位时无微振，可以通过电动机自身保持力停止，适用于皮带机构等低刚性机构。
在应用于检测机构时，如下图所示，使用步进电动机驱动时无需整定时间，有助于高效率检测。
高转矩
AZ系列的高转矩使得到达指定的位置的时间更短，优越的加速性和响应性能够有效加快工作节拍，在频繁启停的检测过程中，有助于提高效率。
 无需传感器
AZ系列采用免电池的绝对式机械编码器。
 绝对式系统无需原点传感器、限位传感器等外部传感器。因此在排线布线的设计安装上会有更大的自由空间，省时省力，减轻成本负担。
相关产品
注意： 本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。 如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
|
