摆臂机构
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如何解决夹取晶圆片时， 因电动机振动而受损的问题？ |
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设备问题
电动机驱动的长杆机构夹取晶圆时，长杆机构会放大电动机的振动，使脆弱的晶圆片受损。那么如何有效减少振动，防止晶圆片因振动受损呢？ |
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2相步进电动机单体 PKP系列 CS减速机型 |
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使用减速机型步进电动机，可有效减轻振动，缩短整定时间，有效减少晶圆因振动而出现破损的现象。
当步进电动机的负载转动惯量较大时，起动、停止时的过冲现象和回冲现象会变大，电动机的振动也会变大。 如下图所示，当增加转动惯量时，振动周期和振动衰减时间都会相应增大。 
——电动机无负载状态
——转子附加3倍转动惯量的状态 而减速机型步进电动机拥有更大的容许惯性负载，惯性比更小，因而可减轻过冲、回冲现象，减轻电动机的振动。 |
而东方马达步进电动机PKP系列CS减速机型（▶点此查看PKP系列CS减速机型规格详细），在不改变减速机尺寸的基础上，实现了转矩和负载的提升。与一般减速机型相比，容许转矩提高一倍。在明显减轻振动同时，还能够对应更大更重的加工工件。
另外由于重新优化齿轮的构造，实现中心轴的改良。 减轻了客户在设计安装板需花费的功夫，并提升了电缆线出现方向的自由度。
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