晶棒生长设备
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步进电动机助力晶棒缓慢生长的应用 |
小型化 、 大容许
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晶棒生长设备：稳定低速的对晶棒进行提拉和旋转
设备：晶棒生长设备机构：电动机卷绕提拉与直连旋转机构 动作概况：通过两台电动机配合动作，辅助晶棒生长。 ①一台电动机通过绳索缓慢提拉已经长成的晶棒，辅助晶棒生长后的提取； ②另一台电动机带动提拉工位和提拉着的晶棒原地旋转，确保生长平面的均匀度。 |
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步进电动机谐波减速机 |
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配备谐波减速机一体化，实现小型化与稳定控制
■集减速机+步进电动机+编码器一体化的高精密步进电动机，实现动力机构设计更小型化。
伺服电动机的减速机靠联轴器联结，步进电动机减速机型实现一体化、省空间，紧凑简洁的设计且无需调整可轻易掌握「齿隙」及「精度」。
■掌握温度变化，有助于预知保全。
预防由环境温度、电动机运行状况等所引发的“电动机过热”报警输出，避免因温度报警导致意外停机而影响长晶。
可根据INFO输出进行提前干预。
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大减速比谐波减速机，提高大容许转矩与惯量
■输出大转矩与大转动惯量晶棒的长度和质量随着晶棒的生长而随之增加（参考：12寸成型晶棒的长度约2-3m，质量可达400kg以上。），
因此在提拉和旋转动作后期，均需要克服较大的负载转矩和负载转动惯量进行驱动。
谐波减速机型安装尺寸90mm最大励磁转矩：
（单位：10^-7kg·m^2)
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晶棒的生长速度缓慢： 大幅提升负载转矩和容许转动惯量； 在晶棒生长应用上，充分发挥了减速机型步进电动机低转速、 高转矩的优势。
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连续运行与满足需求的速度区间
■连续运行*（高频度运行），适合晶棒长时间的生长过程应用。
| 通过采用高效率电动机， 大幅减少了电动机的发热 和耗电量，实现连续运行*。 |
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可实现高频度运行与连续驱动*电动机。
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■搭配高减速比，仍备有一定的速度区间，确保晶棒在生长提拉过程和生长完成后绳索下放时的高、低速切换应用。
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