晶圆单片清洗设备应用提案
装置概要
晶圆单片清洗设备由于工艺效果好、均匀性高，不易产生交叉污染，逐渐成为了半导体制造中的主流湿法清洗设备。该设备在晶圆上、下料、CUP升降装置、喷淋/清洗装置等机构应用上，东方马达均提供强有力的解决方案。通过搭载步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列及其模组化产品，达成小型化、高精度、节省设计、装配的人力和时间成本等多项课题。 以下为您介绍各工位应用提案：
CUP装置升降工位
丝杠带适配器是由滑动丝杠和树脂螺母组成的直线动作机构，可轻松搭载本司步进电动机实现高推力、高速、自锁力等特性，有助于改善装置的生产节拍。与自行组装的结构相比，减少设计工时、节省空间，实现机构的小型化。
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开环控制的步进电动机·无需增益调整的多轴同步运行
电动机本体是被设计仅用控制器、驱动器和电动机构成开环控制方式就可以简单地进行“高精度定位运行”的同步电动机，具有高响应性和高指令跟随性的特点。
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故对机构刚性无要求，无需增益调整，可实现与输入的动作指令同步运行。
只需运动指令同步输入，多台步进电动机可进行几乎相同的运行，同步升降CUP装置。
查看同步性演示视频：
自锁结构·节省额外的制动器设计
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自锁力*最大100N（安装尺寸42mm 导程2mm），可用于保持负载。 可用于防止因自重而掉落、移动等负载保持用途。 *从外部移动螺母时，由于摩擦的关系，丝杠轴无法动作的现象称为自锁。
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* 搭载AZ系列步进伺服混合控制系统步进电动机的组合使用方式，详情请另洽询。
搭载机械式绝对编码器的AZ系列·实现绝对坐标位置管理
绝对式系统位置管理，支持重新上电后的绝对坐标记忆，无需电池、传感器等配件，支持软极限设置、内藏定位程序运行等。
有助于提升生产效率、节省安装空间、降低成本。 |
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查看绝对式应用演示视频：
■原点轻松设置、高速原点返回十分高效简便
| 应用情景： 高精密微调：确认装置当前位置状态，支持高精度位置微调； 轻松复位：断电后各轴若因外力不同引起不同的变位量，支持多轴简易的同步绝对定位复位。 |
■采用小型电动缸·空间利用更出色
αSTEP与滚珠丝杠一体化的紧小型机体，可实现装置设计小型化、省空间化。
DRS2系列
可减少部件数量，节省空间，缩短组装及安装精度等的调节时间。可在更短时间内研发装置。
搭载产品
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▶丝杠带适配器 |
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▶DRS2系列（搭载αSTEP AZ系列） |
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▶步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列 |
注意：
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
