晶圆单片清洗设备应用提案
装置概要
晶圆单片清洗设备由于工艺效果好、均匀性高，不易产生交叉污染，逐渐成为了半导体制造中的主流湿法清洗设备。该设备在晶圆上、下料、CUP升降装置、喷淋/清洗装置等机构应用上，东方马达均提供强有力的解决方案。通过搭载步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列及其模组化产品，达成小型化、高精度、节省设计、装配的人力和时间成本等多项课题。 以下为您介绍各工位应用提案：
晶圆旋转工位
搭载免电池绝对式编码器的AZX系列伺服电动机。可在高速领域内发挥高转矩，适用于在晶圆上料后，结合不同清洗工艺的需求，对晶圆进行搭配不同试剂、不同清洗速度的多阶段清洗。
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搭载免电池绝对式编码器的伺服电动机
AZX系列搭载了与AZ系列相同的免电池机械式绝对编码器（ABZO传感器）。能够用于定位运行和连续运行的伺服电动机。
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• 机械式传感器
非通电状态下也能够保持位置信息 • 多回转绝对式传感器 可根据作为基准的原点，利用电动机轴 检测±900转（1800次旋转）的绝对位置
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无需外部传感器 由于是绝对式系统，因此不需要原点传感器、限位传感器。 优点： •提升高速原点返回＋原点返回精度 •降低成本 •节省配线 •不会受到外部传感器误动作的影响 |
无需电池 机械式编码器不需要电池。位置信息由ABZO传感器以机械方式管理。 优点： •无需更换电池 •海外运输也放心 •无需电池空间（可自由安装驱动器）
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在高速领域内发挥高转矩
AZX系列在高速领域内发挥高转矩。适用于移动量较多的定位用途（例：滚珠丝杠驱动）。
●AZX系列和AZ系列的转速―转矩特性的对比。
AZX系列在高速领域、AZ系列在低速领域具有转矩优势。
AZX系列在高速领域、AZ系列在低速领域具有转矩优势。
网络对应驱动器
驱动器支持EtherCAT、EtherNet/IP、PROFINET。可使用1根通信电缆线连接上一级控制器与驱动器，因此，节省配线。
基本操作方法与AZ系列相同
AZX系列的基本操作方法与AZ系列相同。在同一装置内同时使用AZX系列和AZ系列时，可减少操作方法变更带来的麻烦。
搭载产品
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注意：
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
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