晶圆Pin针顶升机构的设计提案
装置概要
随着半导体工艺发展，对设备的要求也越来越高，对每个轴的动作也愈发严格。小型化、高效率、高精度、低振动……众多需求在机构上的设计应用，以下将为您介绍各类提案：
 *图示仅供参考，需外置导轨设计
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实现的动作： 将吸附于平台上的晶圆片通过Pin针顶起，以便于利用搬运机械手进行取、送晶圆片。
※顶起前，晶圆通过“静电吸附”、“真空吸附”等方式，附着在平台上。
• 需要顶起多片晶圆，实现大负载。
• 顶升机构希望实现小型化。
• 提升效率，提高产能。
机构痛点·难题
• 静电吸附型平台，用气缸顶升PIN针，可能出现“裂片”。• 需要顶起多片晶圆，实现大负载。
• 顶升机构希望实现小型化。
• 提升效率，提高产能。
课题：提升设备效率，提高产能
为提升生产效率，部分设备需要Pin针顶升、晶圆输送等多机构同步动作：
场景①：两轴无法很好配合动作，存在机械干涉、碰撞等问题；
场景②：一轴完成动作后，再执行第二轴动作，则效率较差。
因此，支持运动网络控制型的驱动控制尤为重要，可支持实现多轴同步联动运行，轻松提高动作效率。
解决方案： AZ系列对应各种FA网络的驱动器
●六轴机械臂样机视频
为提升生产效率，部分设备需要Pin针顶升、晶圆输送等多机构同步动作：
场景①：两轴无法很好配合动作，存在机械干涉、碰撞等问题；
场景②：一轴完成动作后，再执行第二轴动作，则效率较差。
因此，支持运动网络控制型的驱动控制尤为重要，可支持实现多轴同步联动运行，轻松提高动作效率。
解决方案： AZ系列对应各种FA网络的驱动器
最多可同时控制4轴的多轴驱动器
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●直接耦合上一级网络 可使用1台驱动器控制多轴。上一级网络及电源的连接集中在1台驱动器中，有助于节省配线和降低成本。 ●以统一的控制完成各种运动 步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列、除各种型号齐全的标准型外，备有带电磁制动、减速机型等产品，同时还备有电动机与电动传动装置组合的机构产品。
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●六轴机械臂样机视频
小型·薄型的mini驱动器，让设计自由度更高
●支持全球主要工业用网络，选择更多样
●可收纳到狭窄空间的小型化设计
✽AZD-KRX为25mm
✽AZD-KRX为25mm
●应用：半导体制程设备（例：多腔体结构）
①电控柜布局更紧凑*、实现小型化；
（如增加单元腔腔体数量，但电气柜不会按腔体数量配套增加时，Mini驱动器更节省空间。）
②有效提升设备空间利用率。
①电控柜布局更紧凑*、实现小型化；
（如增加单元腔腔体数量，但电气柜不会按腔体数量配套增加时，Mini驱动器更节省空间。）
②有效提升设备空间利用率。
搭载产品
注意：
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
