化学机械抛光（CMP）设备应用提案
| CMP设备在转台上使用多个摆臂机构，比如将如抛光垫修整器等移动到位的机构。 下面我们将为您介绍CMP机械臂机构的课题解决方案！ |
机械臂机构及主要驱动源
为保证在整个晶圆上均匀分配适量的材料，CMP工艺在材料去除过程中施加不同的力，并精确停止。
因此，为摆臂机构提供精确定位控制非常重要，合理的选用响应快速的驱动源，以避免抛光过多的基材。
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机械臂 转动 –— DGⅡ系列 省配线与驱动大惯性
目的：将摆臂水平移动定位，以进行抛光或调节等操作。
中空旋转式传动装置DGⅡ系列可直接安装大惯性工作台及机械臂等，可减少机构设计、零件调配、组装状态调节等花费的时间与费用。
应用：半导体制程（晶圆清洗设备）设备（▶点此查看详细介绍）
旋转平台驱动清洗臂摆动，中空设计实现清洗液输送配管可由中空部轻松通过，设计更紧凑。
目的：将摆臂水平移动定位，以进行抛光或调节等操作。
中空旋转式传动装置DGⅡ系列可直接安装大惯性工作台及机械臂等，可减少机构设计、零件调配、组装状态调节等花费的时间与费用。
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可驱动多种机械臂规格·大容许惯性力矩
以下为各规格可驱动的大致机械臂参考长度及负载质量，实际选用请结合机构尺寸及驱动条件进行综合选型计算，可进一步洽询东方马达。
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应用：半导体制程（晶圆清洗设备）设备（▶点此查看详细介绍）
旋转平台驱动清洗臂摆动，中空设计实现清洗液输送配管可由中空部轻松通过，设计更紧凑。
一体化・大口径中空孔设计
可直接将负载安装在旋转平台上，不仅省去传动机构，方便安装，更能通过中空设计实现由下而上的配线・配管。
大口径中空孔（贯穿）可用于布线复杂的配线、气动及液压配管等场合，使装置设计更为简洁。
引申应用：液体分装设备
中空设计实现液体输送配管可由中空部通过，管道布置更紧凑。
中空设计实现液体输送配管可由中空部通过，管道布置更紧凑。
小型化
DGⅡ系列备有电动机垂直组装型、水平组装型，可根据装置内的安装空间进行选择。垂直组装型可将电动机隐藏到安装板之下，最小仅需35.5mm高度即可安装负载。
AZ系列产品用于机械臂机构的优势
齿条移动方向（垂直）的应用，实现高反复定位精度，确保物料的准确的顶升。
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●功能安全
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电动升降机械臂的旋转部时，可使用东方马达的DRS2系列及EZS系列。 DRS2系列安装尺寸60㎜，虽机身小巧，但最大能发挥500N的推力， 适用于小型机械臂旋转机构的升降轴。
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●搭载AZ系列的便利功能
方便的运行·设定
使用AZ系列的功能，能够通过中空旋转式传动装置的旋转平台执行坐标管理，可以实现以下运行：
| ・就近绝对移动缩短生产周期 | ・设定禁止进入范围使控制简单 | |
是指朝向设定的目标位置，按移动距离最短的旋转方向
执行驱动的功能。可缩短装置的生产周期。  |
装置上有障碍物等时，
可在旋转平台上设定禁止进入范围。  |
缩短装置启动时间 出厂时已预设运行中空旋转式传动装置所需参数，可缩短装置启动时间。·原点位置
·分辨率设定（0.01°/step）
·旋转平台的旋转方向设定
·Round设定±180°
●各初始设定值可以更改。
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搭载产品
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注意：
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
