全自动探针台设备
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全自动探针台设备的高效率检测应用 |
提高精度、高响应、提高效率
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全自动探针台设备：高精度的升降晶圆台
设备：全自动探针台工位：晶圆台升降工位 解决方案：5相高分辨率型步进电动机 ●高精度 ●高响应 ●全闭环控制系统 |
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5相高分辨率型步进电动机 |
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高精度的高分辨率型产品，产能效益更优越
■高分辨率型，停止精度大为提高。◇分辨率提高（相比标准型）
转子的齿数由标准型的50个增加到2倍的100个，基本步距角为标准型的一半0.36°。
◇结构上更小的步距实现停止精度更高
与标准型相比，齿轮更密，齿数更多。分散发生转矩的偏差，减小静止角度误差。可避免晶圆针印、探针破损的可能，优化检测品质。
5相·标准型：±3分（±0.05°）
5相·高分辨率型：±2分（±0.034°）
◇ 角度-转矩特性比较（参考）
相比标准型，在电动机施加相同的摩擦负载，高分辨率型的变位角 θd 更小。在始终用于施加摩擦负载用途时，停止精度更高。 因此，平台机构的精度因受皮带、螺杆导轨/导块等而产生摩擦转矩所导致的精度影响会更小。
如皮带、滚珠螺杆机构，在动作时，机构始终会对电动机施加因皮带张紧力、导块或导轨等而产生的摩擦负载。
● 空程※1实测数据
优化检测良率，助力检测效率提升
■综合性能，（免增益、无微振、高指令跟随）更强大的稳定运行◇ 免增益、无微振的高响应动作
步进电动机是开环控制的同步电动机，有其特有的高响应性。对机构的刚性无要求，无需进行增益调整。定位结束时无微振且可以通过电动机自身保持力停止。 适用于需要无振动停止的设备用途。实现晶圆台对运动指令的高响应动作，避免过冲现象，减少晶圆/探针破损、针印等发生，提高检测良率。 |
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◇ 微米级别的高指令跟随
高分辨率型产品在高摩擦负载的环境下可切实追随每一个脉冲的指令。 可为搭配光栅尺等外部传感器实现全闭环控制系统的高精密平台，提供精密定位调整的指令跟随应用。 |
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升级全闭环控制，构建更高精度的系统
CVD系列全新推出全闭环控制型产品，保持了步进电动机的易用性, 通过与外部传感器的组合实现高精度定位运行。构建需要更高精度控制的设备及装置设计。● 空程※1实测数据
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【测定条件】 螺杆导程1ｍｍ 直线光栅尺分辨率0.1μm 位置范围：1cnt ※2 采用激光测长测量
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※1 电动机从CW或CCW方向对目标位置进行定位，此时的停止位置相对于旋转方向的差。
※2 以编码器脉冲计数1的误差(-0.2～0.2μm)为目标进行修正。
全闭环控制型在开始定位时，利用步进电动机的高响应进行开环控制。
从位置指令结束开始，结合外部传感器的反馈，可通过全闭环控制进行位置修正。
在保证高响应性的同时，也进一步提升了装置的定位精度。
※2 以编码器脉冲计数1的误差(-0.2～0.2μm)为目标进行修正。
全闭环控制型在开始定位时，利用步进电动机的高响应进行开环控制。
从位置指令结束开始，结合外部传感器的反馈，可通过全闭环控制进行位置修正。
在保证高响应性的同时，也进一步提升了装置的定位精度。
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