晶圆Pin针顶升工位·小型电动缸应用提案
装置概要
半导体的工艺发展对设备的要求逐步提升，对每个轴的动作也愈发严格。小型化、高效率、高精度、低振动……众多需求在机构上的设计应用，以下将为您介绍各类提案：
 *图片仅供示意
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实现动作
将吸附于平台上的晶圆片通过Pin针顶起，以便于利用搬运机械手进行取、送晶圆片。 ※晶圆顶起前，会通过“静电吸附”、“真空吸附”等方式附着在平台上。 机构痛点·难题
• 吸附型平台采用气缸顶升PIN针，晶圆可能出现“裂片”。• 需顶升大尺寸晶圆，实现大负载驱动。 • 实现小型化。 • 提升效率，提高空间利用率。 |
课题：空间狭小、安装紧凑、负载重
设备空间小型化要求越来越高，对Pin针顶升机构空间要求更加严峻，故顶升机构的整体高度压缩降低成为新课题。
解决方案： 一体化、小型电动缸DRS2系列
●应用：半导体制程设备（例：加热工艺）
根据制程工艺要求，需将晶圆顶升至多个高度位置，以进行将晶圆控制在不同的温度下进行反应制造。
DR/DRS2系列小型电动缸由于采用控制性能优异的AZ系列步进电动机，支持：
设备空间小型化要求越来越高，对Pin针顶升机构空间要求更加严峻，故顶升机构的整体高度压缩降低成为新课题。
解决方案： 一体化、小型电动缸DRS2系列
 *图片仅供示意
●选用参考例：DRSM42RG-04B2AZMK ・带电磁制动 ・αSTEP与滚珠螺杆一体化的紧小型机体 ・安装面仅为42mm ・垂直可搬质量达10kg ・最小移动量0.001mm ・反复定位精度±0.003mm 组合使用的电动传动装置、驱动器详细内容， 详情请洽询客户咨询中心或距离您最近的销售点。
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有助于装置的小型化、轻量化
●构成部件数的比较将工作物移动相同冲程量时的构成范例  |
搭载ABZO机械式绝对编码器，无需传感器，省空间、省配线
机身小巧，实现装置小型化、轻量化，加之搭载ABZO编码器，故无需原点传感器。
除有助于进一步帮助装置实现节省空间、节省配线外，还能够避免使用传感器时的定期维护及可能出现的故障。
●应用：半导体制程设备（例：加热工艺）
根据制程工艺要求，需将晶圆顶升至多个高度位置，以进行将晶圆控制在不同的温度下进行反应制造。
DR/DRS2系列小型电动缸由于采用控制性能优异的AZ系列步进电动机，支持：
・多点绝对定位 ・无需外部传感器 ・停止时保持力 ・顺畅地加/减速运行
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搭载产品
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▶小型电动缸DR系列（搭载αSTEP AZ系列） 因此无需原点传感器、限位传感器等外部传感器。
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注意：
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
