半导体制程相关设备
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晶圆旋转主轴工位的坐标简易管理应用 |
提高效率、省空间、驱动大负载
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晶圆旋转主轴工位：稳定缓慢的驱动晶圆旋转
设备：半导体制程相关设备工位：晶圆旋转主轴工位 解决方案：AZ系列步进伺服混合控制系统步进电动机 ●绝对系统·简易循环坐标 ●一体化·省空间 ●大惯性负载驱动 ●驱动小型化 |
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步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列 |
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循环坐标功能设定，坐标管理更简易
■机械式绝对编码器·实现绝对坐标位置管理绝对式系统位置管理，无需电池、传感器等配件。支持高速原点返回、重新上电后的绝对坐标记忆、软极限设置、内藏定位程序运行等。 有助于提升生产效率、节省安装空间、降低成本。
循环功能是在电动机输出轴的转数超出设定的范围时，自动预置当前位置的位置信息的功能。
应用例：
连续旋转的镀膜旋转盘工位，电动机输出轴每旋转1rev，循环坐标时，坐标将自动清零。
连续旋转的镀膜旋转盘工位，电动机输出轴每旋转1rev，循环坐标时，坐标将自动清零。
有助于：
①便捷的确认机构/晶圆当前位置状态； ②避免坐标溢出时的坐标数据处理难题； ③高效的高速原点返回。 |
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配备减速机一体化，实现小型化
■集减速机+步进电动机+编码器一体化的高精密步进电动机，实现动力机构设计更小型化伺服电动机的减速机靠联轴器连结，步进电动机减速机型实现一体化、省空间，紧凑简洁的设计且无需调整，可轻易掌握「齿隙」及「精度」。
◇ 驱动大惯性负载
相同安装尺寸，步进电动机的转子转动惯量值普遍大于伺服电动机，可驱动更大的惯性负载。
小体积步进电动机驱动器，提升电控空间利用率
■步进电动机驱动器体积更小型化
备有可对应EtherCAT、EtherNet/IP、PROFINET的步进电动机驱动器。
体积相比伺服电动机驱动器大为缩小。
面向轴数多、控制柜空间要求严苛的场合，步进电动机驱动器有效节省设计空间，提高设计自由度。
备有可对应EtherCAT、EtherNet/IP、PROFINET的步进电动机驱动器。
体积相比伺服电动机驱动器大为缩小。
面向轴数多、控制柜空间要求严苛的场合，步进电动机驱动器有效节省设计空间，提高设计自由度。
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