半导体设备
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优化半导体设备空间利用率解决方案 |
提高效率、省空间
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工艺升级，控制柜空间不足，布置困难、费时费力？
应用范围：半导体制程（如刻蚀、镀膜、键合、检测等）、面板、电子零部件等相关设备 解决方案：AZ系列多轴驱动器·薄型 ●省空间 ●节省布线 ●控制统一 痛点：①因工艺流程升级、增加等，在相同设备空间中新增工位轴数， 但控制柜空间难以容纳新增的驱动器与布线设置。 ②狭小的空间新增轴数后，驱动器设置、布线难度增大，耗时。 |
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AZ系列多轴驱动器·薄型 |
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节省空间的多轴驱动器·薄型
厂内空间利用率要求日益加剧，开发多层、多腔室集群的半导体制程设备（如刻蚀设备）设计逐步成为升级的趋势。此外，设备的安装空间有限，为了提高下一代半导体制造设备的生产率，必须不断缩减整个设备的占地面积。■小型化·节省空间
1台驱动器最多可同时控制4轴电动机，满足装置整体的小型化需求。 与现有的单轴驱动器或多轴驱动器相比，可大幅节省空间。
与传统驱动器相比，多轴驱动器·薄型可减少约66%的安装空间。
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简化配线，节省空间·提升效率
AZ系列多轴驱动器·薄型拥有对应EtherCAT、MECHATROLINK-Ⅲ、SSCNETⅢ/H的产品阵容。通过一个驱动器控制多个轴，减少控制柜中的配线布置，减少繁杂的布线工序，提升研发效率。
此外，AZ系列步进伺服混合控制系统步进电动机搭载机械绝对式ABZO编码器，机构上可免传感器，同时可节省控制柜上I/O模块、端子台等元件设置，进一步提升空间利用率。
以统一的控制完成各种运动
AZ系列拥有型号齐全的标准型、带电磁制动、减速机型等产品。还备有电动机与电动传动装置组合的机构产品，一体化的设计可节省机构设计及空间。
共通的电动机、电缆线，使得配线、控制、维护部件均统一，可缩短装置装配时间。
多轴工位使用安装尺寸42mm以下的电动机（DC电源输入）时，可选用薄型。
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▶标准型 AZ系列 |
▶减速机型 AZ系列 |
▶电动滑台 EZS系列 |
▶电动缸 EAC系列 |
小型电动缸 ▶DR系列 ▶DRS2系列 |
▶中空旋转式 传动装置 DGII系列 |
统一的优点：
• 配线统一： 网络控制可省大量配线，节省电气、配线设计及人工成本。
• 控制统一 ：使用相同的驱动方法实施网络控制，指令代码类型相同，可简化编程。
• 保养部件统一： 驱动器、电缆线等通用，可节省管理成本（部件费用、管理空间）。
• 配线统一： 网络控制可省大量配线，节省电气、配线设计及人工成本。
• 控制统一 ：使用相同的驱动方法实施网络控制，指令代码类型相同，可简化编程。
• 保养部件统一： 驱动器、电缆线等通用，可节省管理成本（部件费用、管理空间）。
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