多工位移载加工设备
装置概要
以半导体常见的多工位设备为例,介绍上下料工位、移载工位、加工工位中使用东方马达产品的解决方案。通过全部使用搭载步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列的产品,在达成小型化、高精度的前提下,统一控制方式。
有助于节省设计、装配的人力和时间成本。
移载工位
通过采用出厂已安装无齿隙减速机的步进电动机,高精度地驱动大惯性负载。
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无需外部传感器即可旋转驱动
此轴用作将处理前、后的工件进行搬运移载。αSTEP AZ系列电动机后部搭载无需电池的机械式绝对编码器(ABZO编码器)。不会受到原点返回费时及外部传感器相关问题的影响。
旋转轴的应用例
αSTEP AZ系列,借助“就近绝对移动”功能,可向指定坐标进行180°以内的移动,缩短了工件调整时间。

高精度·无齿隙
就减速机而言,谐波减速机拥有无可比拟的优异定位精度特性,与使用一般直齿轮的减速机不同,没有齿隙(小齿互相啮合间隙)。同时,相互啮合的齿数较多,小齿的齿距误差或累积齿距误差的旋转精度的影响被平均分散掉,可发挥高定位精度的特性。
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高减速比驱动大惯性负载
谐波减速机的减速比较高,因此,在输出轴施加负载转矩时的扭转,即使与电动机单体及其它减速电动机相比,不仅精度影响小,且具有高刚性。由于刚性较高,因此,即使负载变动大,也可以非常稳定的定位。

一体化·小型化
步进电动机的减速机型出力轴为齿轮加工,可与减速机直接连结传动,且出厂前已进行高精度组装,实现一体化·小型化。
搭载产品
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注意:
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助,请洽询本公司客户咨询中心(电话:400-820-6516)。