多工位移载加工设备
装置概要
以半导体常见的多工位设备为例，介绍上下料工位、移载工位、加工工位中使用东方马达产品的解决方案。通过全部使用搭载步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列的产品，在达成小型化、高精度的前提下，统一控制方式。
有助于节省设计、装配的人力和时间成本。
加工工位
通过采用步进电动机和滚珠螺杆一体化的小型电动缸，与自行组装的机构相比，装置全长缩短。
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特别适用于微小移动量·高精度定位
中空转子和滚珠螺杆螺母一体化。由于不需要连接部件，因此，很少会出现因联轴器等部件组合而产生的精度影响，可实现更高精度的定位。
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●驱动螺杆分为研磨滚珠螺杆和滚轧滚珠螺杆2种
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减少连结部件，节省空间
无需直线导轨和连轴器等连结零件，使得设备整体得以小型化。相较于自行组装的机构，所需的零部件大大减少。
多样化的安装方式
安装方法多样，能够较大限度灵活选择安装方式以对应受限的空间。使用多台时，可以紧密安装搭建微小XYZ工作台*，能够缩短设备的宽度。
*具体选购搭建方案，详情需咨询东方马达以选型评估确认。
以工作台型推杆型为例
※ 材质：铝 表面处理：无
免传感器，无需另设空间
搭载混合控制系统αSTEP AZ系列，采用小型机体实现装置的小型化、轻量化之外，
还搭载ABZO机械式编码器，能够检测管理位置信息，因此无需原点传感器，当然也省略了传感器所需的配线，
达到节省成本和空间的目的。
还搭载ABZO机械式编码器，能够检测管理位置信息，因此无需原点传感器，当然也省略了传感器所需的配线，
达到节省成本和空间的目的。
搭载产品
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▶小型电动缸DR系列（搭载αSTEP AZ系列） |
注意：
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
