晶圆单片清洗设备应用提案
装置概要
晶圆单片清洗设备由于工艺效果好、均匀性高，不易产生交叉污染，逐渐成为了半导体制造中的主流湿法清洗设备。该设备在晶圆上、下料、CUP升降装置、喷淋/清洗装置等机构应用上，东方马达均提供强有力的解决方案。通过搭载步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列及其模组化产品，达成小型化、高精度、节省设计、装配的人力和时间成本等多项课题。 以下为您介绍各工位应用提案：
喷淋/清洗装置摆臂工位——升降轴
通过组合高精度的αSTEP AZ系列和滚珠螺杆，在摆臂升降工位上提供了高精度定位的DRS2系列小型电动缸应用方案，与自行组装的机构相比，装置全长缩短、更紧凑。
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适用于微小移动量·高精度定位
| 中空转子和滚珠螺杆螺母一体化的紧小型机体，可实现装置的小型化。 由于不需要连接部件，减少因联轴器等连结部件而产生的精度影响，实现更高精度的定位。 ●驱动螺杆分为研磨滚珠螺杆和滚轧滚珠螺杆2种 【最小移动量】0.001mm 【反复定位精度】 研磨滚珠螺杆：±0.003mm 滚轧滚珠螺杆：±0.01mm
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减少连结部件，实现省空间化
无需直线导轨和连轴器等连结零件，设备整体得以小型化。相较于自行组装的机构，所需的零部件大大减少。
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节省设计与空间 安装于旋转平台上驱动机械臂的升降， 一体化的小型电动缸实现简洁设计， 无需过多的配件设置，机构紧凑。 |
免传感器，无需另设空间
搭载混合控制系统αSTEP AZ系列，除了实现装置的小型化、轻量化外，还能够检测管理位置信息、无需原点传感器、限位传感器等，节省了传感器及配线的设置，达到省成本和空间的目的。
断电时保护的带电磁制动
电源OFF时，保持停止位置。带电磁制动规格的采用，
即使垂直安装，也不必担心维护作业中工作物掉落。
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搭载产品
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▶小型电动缸DR系列（搭载αSTEP AZ系列） 因此无需原点传感器、限位传感器等外部传感器。
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注意：
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
