晶圆单片清洗设备应用提案
装置概要
晶圆单片清洗设备由于工艺效果好、均匀性高，不易产生交叉污染，逐渐成为了半导体制造中的主流湿法清洗设备。该设备在晶圆上、下料、CUP升降装置、喷淋/清洗装置等机构应用上，东方马达均提供强有力的解决方案。通过搭载步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列及其模组化产品，达成小型化、高精度、节省设计、装配的人力和时间成本等多项课题。 以下为您介绍各工位应用提案：
控制方式
一台多轴驱动器
αSTEPAZ系列多轴驱动器，可连接2-4轴。可将驱动器集合成1台，
可节省连接上位的连接电缆线及电源电缆线，从而节省配线。
配置自由度高的小型驱动器
在自制机器人时，也需要重视驱动器尺寸。小型化的驱动器可以不受电控柜位置的空间限制，在有限的空间中自由设置。例如可在电动机的旁边设置驱动器，缩短电动机电缆线、节省配线，提高生产现场的整洁度，同时还节省了电控柜的空间，推进设备整体小型化，提高设备空间利用率。
▶点此查看AZ系列mini驱动器详情
协助您从产品选定到装置设计
您可以通过我司的在线电动机选型软件进行自主选型计算。
除此之外，也可通过委托东方马达工作人员进行选型计算，并介绍与之相配的配件。
注意：
*本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
*如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
*启动机器人前客户应负责事先对机器人实施充分的安全确认。对于机器人系统整体的安全性，本公司不承担任何责任。
*需要客户按照实际使用条件进行编程，本公司无法提供编程服务。
高性价比的控制器，免费的软件
机器人控制器MRC01搭载了机器人动作必要的基本功能，且性价比高。此外，备有专用的编程软件MRC Studio可免费下载。即使没有编程等专业知识也可直观地输入程序。▶点此查看机器人控制器MRC01详细介绍
▶点此下载编程软件 MRC Studio
▶点此下载编程软件 MRC Studio体验版
您可以通过我司的在线电动机选型软件进行自主选型计算。
除此之外，也可通过委托东方马达工作人员进行选型计算，并介绍与之相配的配件。
以统一的控制完成各种运动
步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列、除各种型号齐全的标准型外还备有带电磁制动、减速机型等产品。此外，还备有电动机与电动传动装置组合的机构产品。共通的电动机、电缆线，使得配线、控制、维护部件均统一，可缩短装置完成所需的时间
点击以下链接查看相关产品详细：
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| 电动滑台 ▶EZS系列 ▶EAS系列 |
▶电动缸 EAC系列 |
小型电动缸 ▶DR系列 ▶DRS2系列 |
▶中空旋转式 传动装置 DGII系列 |
齿轮·齿条系统 ▶L系列 ▶LJ直线减速机 |
▶电动夹爪 EH系列 |
统一的优点：
• 配线统一
I/O的端子分配相同，可节省电气设计、配线的设计及人工成本。
• 控制统一
控制方法相同，可使用相同的使用方法实施控制。此外，网络控制时，远程I/O及指令代码相同。可简化编程程序。
• 保养部件统一
电动机、驱动器、电缆线等通用，可将保养部件控制到最低。可节省管理成本（部件费用、管理空间）。
▶点此观看无需电池的绝对定位介绍视频
• 配线统一
I/O的端子分配相同，可节省电气设计、配线的设计及人工成本。
• 控制统一
控制方法相同，可使用相同的使用方法实施控制。此外，网络控制时，远程I/O及指令代码相同。可简化编程程序。
• 保养部件统一
电动机、驱动器、电缆线等通用，可将保养部件控制到最低。可节省管理成本（部件费用、管理空间）。
无需外部传感器，减少了相关问题发生
AZ系列搭载机械式绝对编码器（ABZO编码器）实时管理位置信息，可省去原点返回所需的外部传感器。此装置为5轴驱动，因此5轴均无需外部传感器。 不仅节省了部件成本及减少了配线时间，而且因减少了断线、误检等传感器相关问题的发生，从而有助于整体的成本降低。
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缩短多轴的原点返回时间
AZ系列搭载无需电池的机械式绝对编码器（ABZO编码器）。定位运行中，即使电源非正常停止或发生停电，也能保持位置信息。而且，即使需要回原点也无需使用外部传感器，因此可实现高速回原点。▶点此观看无需电池的绝对定位介绍视频
搭载产品
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对应EtherCAT、MECHATROLINK-Ⅲ、SSCNETⅢ/H 的多轴驱动器、 可连接本公司AZ系列DC电源输入电动机
及搭载该电动机的电动传动装置。
比盒型驱动器更小。通过mini驱动器，实现装置的小型化、 节能化。
可对应电池驱动，可用于比以往更多的用途。
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注意：
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
