晶圆单片清洗设备应用提案
装置概要
晶圆单片清洗设备由于工艺效果好、均匀性高，不易产生交叉污染，逐渐成为了半导体制造中的主流湿法清洗设备。该设备在晶圆上、下料、CUP升降装置、喷淋/清洗装置等机构应用上，东方马达均提供强有力的解决方案。通过搭载步进伺服混合控制系统αSTEP AZ系列及其模组化产品，达成小型化、高精度、节省设计、装配的人力和时间成本等多项课题。 以下为您介绍各工位应用提案：
CUP装置升降工位
采用高效节能的αSTEP AZ系列步进电动机和直线导轨一体化模组，组成小型化、高刚性、低发尘量的电动滑台。
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折返型电动滑台实现装置小型化
采用全长较短的折返型电动滑台，实现了装置的小型化设计。因此可满足产线的装置长、宽、高等空间限制。
与直线型相比，折返型全长最大可缩短136.4mm，有利于节省装置的空间。
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EZSM6带电磁制动 行程200mm
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折返型电动滑台 折返型、带电磁制动规格的电动滑台的采用，极大程度的缩短垂直方向上的高度空间，实现节省空间，避免机构组装干涉。 |
简易防尘构造，更有无尘室对应品
工作台部分采用不锈钢板和滚筒构造的简易防尘构造，可阻止异物进入，抑制发尘。
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●低发尘的滚筒构造
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●无尘室对应
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高容许惯性力矩
在保持小型化的同时，实现高容许惯性力矩。
可改变电缆线出线方向
电动机的安装方向可作4个方向*的改变，可根据安装场所自由改变电缆线的出线方向。
* 折返型为3个方向。 
ABZO编码器进行位置信息管理，减少传感器造成的设备停机并实现高速原点返回
由于搭载绝对式编码器（ABZO编码器），因此，不需要保持位置信息的电池及原点传感器、外部传感器。●不需要外部传感器
由于是绝对式编码器，因此，不需要原点传感器及外部传感器。
・通常的原点返回 |
・搭载AZ系列的原点返回 |
采用机械式编码器，因此，切断电源后仍能够保持位置信息。因为不需要电池，故无需考虑出口海外时的限制等因素。
搭载产品
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注意：
本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。
如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。
